0678John Appleseed垢版 | 大砲2018/09/13(木) 02:55:23.37ID:nixpFtwh >>629 ArFってのはフッ化アルゴンでレジストの溶媒なんだ 高くて歩留まり悪いけど7nmを実現してる EUVは極短紫外線でX線に近くなってる紫外光 現代のハイテクだから調べると面白いよ