>>277
還元炉内では、約1050℃に通電加熱したシードに反応ガスを流してポリシリコンを析出させる。
大量の輻射熱が出る。それを水冷SUSの反応器(ベルジャーとベース)で反射するが、一部は吸収される。
ベースの黒い所では反射せず吸収するから熱ロスとなるが、それが問題なのではない。

ベースの温度が上がるので、SUSが反応ガス(トリクロロシラン/H2)によりエッチングされ、SUSの成分が反応ガス中に混入してくる。
H2ガスでは深冷分離が可能だが、クロロシラン系では蒸留で不純物を除ききれない可能性がある。
(あの高い蒸留塔でも････)

そういった不純物は操業を続け循環するうちに蓄積されてゆくから、品質が悪くなると操業を止めて洗い直す必要がある。
不純物の少ない原料の選択も必要で、コスト上昇の原因になる。