おはようございます。
ダウンロードしたファームウェアのファイルサイズを確認したら実容量が1MBもなく、ブラウザのセキュリティ機能？で止められていたみたいです。
正常なファームウェアをフォルダに配置したら正常にtftpd64のケージが進みました。
ありがとうございました。